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世界資訊:未來重點關注光刻機國產(chǎn)化進程及相關上市公司

2023-07-03 14:41:07 來源:雪球網(wǎng)

主流EUV光源確定為激光等離子體光源(LPP),目前只有兩家:一,美國的Cymer(2012年被ASML收購),另外一家是日本的Gigaphoton。

國產(chǎn)進度:中國科益虹源公司自主研發(fā)設計生產(chǎn)的首臺高能準分子激光器,以高質(zhì)量和低成本的優(yōu)勢,填補中國在準分子激光技術領域的空白,其已完成了6kHZ、60w主流ArF光刻機光源制造,激光器上的KBFF晶體由中科院旗下的福晶科技提供。同時,科益虹源也是上海微電子待交付的28納米光刻機的光源制造商。中國科益虹源公司其中有華為子公司參股。


(資料圖)

鏡是光刻機中最昂貴最復雜的部件之一,浸沒式光刻物鏡異常復雜,涵蓋了光學、機械、計算機、電子學等多個學科領域最前沿,二十余枚鏡片的初始結(jié)構(gòu)設計難度極大——不僅要控制物鏡波像差,更要全面控制物鏡系統(tǒng)的偏振像差。隨著光刻分辨率的不斷提高,光學光刻機中采用的投影物鏡結(jié)構(gòu)型式經(jīng)歷了一個演變和篩選過程。在早期的低分辨率光刻機中,全反射型、全折射型、折反射型多種結(jié)構(gòu)型式并存:在目前的高分辨率光刻機中,以全折射式結(jié)構(gòu)型式為主流。

卡爾蔡司是ASML透鏡,反射鏡,照明器,收集器和其他關鍵光學元件(即光學元件)的唯一供應商。ASML與卡爾蔡司成了獨家協(xié)議,如果卡爾蔡司無法維持和提高生產(chǎn)水平,ASML可能無法履行訂單。

在光學鏡頭方面,盡管與卡爾蔡司、尼康等公司還有非常大的差距,但奧普光學(奧普光電)提供的鏡頭已經(jīng)可以做到90nm。奧普光電是大名鼎鼎的長春光機所。

目前,國產(chǎn)光刻機還處于DUV階段。而DUV光刻機也分三類,即KrF、ArF、ArFi。前兩種已經(jīng)突破,國產(chǎn)最高可做到90nm,可滿足國內(nèi)重要機構(gòu)使用,不受國外限制?,F(xiàn)在我們正在努力的就是ArFi光刻機(波長等效134nm),多出的這個i代表加入了沉浸式技術,一旦能夠?qū)崿F(xiàn)突破,那么就等于邁進了DUV光刻機中的高端行列。ArFi沉浸式光刻機最關鍵的就是這個沉浸式技術,ArF波長為193nm,加入沉浸式技術后就可以達到134 nm。而近些年國內(nèi)企業(yè)啟爾機電在浸液控制系統(tǒng)上取得了重大突破。

茂萊光學:工業(yè)精密光學龍頭,為上海微批量供應光刻機透鏡。公司主營業(yè)務為精密光學元件、光學系統(tǒng)、光學鏡頭,下游涵蓋半導體、生命科學、VR\AR 等領域。

福晶科技:晶體龍頭,主要產(chǎn)品為激光光學元器件、激光器件、非線性光學晶體、激光晶體。前期曾通過歐洲代理向 ASML 供應少量光學元件,公司晶體核心產(chǎn)品LBO、BBO 市占率達 80%。

騰景科技:公司主營產(chǎn)品為精密光學元組件、光纖器件。目前多波段合分束器已進入樣品驗證階段。

炬光科技:公司主要從事激光行業(yè)上游的高功率半導體激光元器件(“產(chǎn)生光子”)、激光光學元器件(“調(diào)控光子”)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,目前光場勻化器成功進入 ASML 供應鏈。

奧普光電:蔡司的間接供應商,主要供應 K9 光學玻璃、人造螢石(CaF2)等高端光學材料。公司主營業(yè)務為光學儀器制造,主要產(chǎn)品為光電測控儀器、光柵傳感類產(chǎn)品。

蘇大維格:研發(fā)生產(chǎn)投影式光刻機用定位光柵部件,主要客戶為上海微電子。

晶方科技:通過收購荷蘭子公司打入 ASML 供應鏈,擁有混合鏡頭、晶圓級微型光學器件工藝技術設計、特性材料及量產(chǎn)能力,其產(chǎn)品可廣泛應用于半導體精密設備、工業(yè)自動化、汽車、安防、3D 傳感器等應用領域。

人個觀點,僅供參考。

$晶方科技(SH603005)$

$福晶科技(SZ002222)$

$奧普光電(SZ002338)$

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