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主流EUV光源確定為激光等離子體光源(LPP)，目前只有兩家：一，美國(guó)的Cymer（2012年被ASML收購(gòu)），另外一家是日本的Gigaphoton。

國(guó)產(chǎn)進(jìn)度：中國(guó)科益虹源公司自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)的首臺(tái)高能準(zhǔn)分子激光器，以高質(zhì)量和低成本的優(yōu)勢(shì)，填補(bǔ)中國(guó)在準(zhǔn)分子激光技術(shù)領(lǐng)域的空白，其已完成了6kHZ、60w主流ArF光刻機(jī)光源制造，激光器上的KBFF晶體由中科院旗下的福晶科技提供。同時(shí)，科益虹源也是上海微電子待交付的28納米光刻機(jī)的光源制造商。中國(guó)科益虹源公司其中有華為子公司參股。

(資料圖)

鏡是光刻機(jī)中最昂貴最復(fù)雜的部件之一，浸沒式光刻物鏡異常復(fù)雜，涵蓋了光學(xué)、機(jī)械、計(jì)算機(jī)、電子學(xué)等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域最前沿，二十余枚鏡片的初始結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)難度極大——不僅要控制物鏡波像差，更要全面控制物鏡系統(tǒng)的偏振像差。隨著光刻分辨率的不斷提高，光學(xué)光刻機(jī)中采用的投影物鏡結(jié)構(gòu)型式經(jīng)歷了一個(gè)演變和篩選過(guò)程。在早期的低分辨率光刻機(jī)中，全反射型、全折射型、折反射型多種結(jié)構(gòu)型式并存：在目前的高分辨率光刻機(jī)中，以全折射式結(jié)構(gòu)型式為主流。

卡爾蔡司是ASML透鏡，反射鏡，照明器，收集器和其他關(guān)鍵光學(xué)元件（即光學(xué)元件）的唯一供應(yīng)商。ASML與卡爾蔡司成了獨(dú)家協(xié)議，如果卡爾蔡司無(wú)法維持和提高生產(chǎn)水平，ASML可能無(wú)法履行訂單。

在光學(xué)鏡頭方面，盡管與卡爾蔡司、尼康等公司還有非常大的差距，但奧普光學(xué)（奧普光電）提供的鏡頭已經(jīng)可以做到90nm。奧普光電是大名鼎鼎的長(zhǎng)春光機(jī)所。

目前，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)還處于DUV階段。而DUV光刻機(jī)也分三類，即KrF、ArF、ArFi。前兩種已經(jīng)突破，國(guó)產(chǎn)最高可做到90nm，可滿足國(guó)內(nèi)重要機(jī)構(gòu)使用，不受國(guó)外限制?，F(xiàn)在我們正在努力的就是ArFi光刻機(jī)（波長(zhǎng)等效134nm），多出的這個(gè)i代表加入了沉浸式技術(shù)，一旦能夠?qū)崿F(xiàn)突破，那么就等于邁進(jìn)了DUV光刻機(jī)中的高端行列。ArFi沉浸式光刻機(jī)最關(guān)鍵的就是這個(gè)沉浸式技術(shù)，ArF波長(zhǎng)為193nm，加入沉浸式技術(shù)后就可以達(dá)到134 nm。而近些年國(guó)內(nèi)企業(yè)啟爾機(jī)電在浸液控制系統(tǒng)上取得了重大突破。

茂萊光學(xué)：工業(yè)精密光學(xué)龍頭，為上海微批量供應(yīng)光刻機(jī)透鏡。公司主營(yíng)業(yè)務(wù)為精密光學(xué)元件、光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭，下游涵蓋半導(dǎo)體、生命科學(xué)、VR\AR 等領(lǐng)域。

福晶科技：晶體龍頭，主要產(chǎn)品為激光光學(xué)元器件、激光器件、非線性光學(xué)晶體、激光晶體。前期曾通過(guò)歐洲代理向 ASML 供應(yīng)少量光學(xué)元件，公司晶體核心產(chǎn)品LBO、BBO 市占率達(dá) 80%。

騰景科技：公司主營(yíng)產(chǎn)品為精密光學(xué)元組件、光纖器件。目前多波段合分束器已進(jìn)入樣品驗(yàn)證階段。

炬光科技：公司主要從事激光行業(yè)上游的高功率半導(dǎo)體激光元器件（“產(chǎn)生光子”）、激光光學(xué)元器件（“調(diào)控光子”）的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前光場(chǎng)勻化器成功進(jìn)入 ASML 供應(yīng)鏈。

奧普光電：蔡司的間接供應(yīng)商，主要供應(yīng) K9 光學(xué)玻璃、人造螢石（CaF2)等高端光學(xué)材料。公司主營(yíng)業(yè)務(wù)為光學(xué)儀器制造，主要產(chǎn)品為光電測(cè)控儀器、光柵傳感類產(chǎn)品。

蘇大維格：研發(fā)生產(chǎn)投影式光刻機(jī)用定位光柵部件，主要客戶為上海微電子。

晶方科技：通過(guò)收購(gòu)荷蘭子公司打入 ASML 供應(yīng)鏈，擁有混合鏡頭、晶圓級(jí)微型光學(xué)器件工藝技術(shù)設(shè)計(jì)、特性材料及量產(chǎn)能力，其產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體精密設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化、汽車、安防、3D 傳感器等應(yīng)用領(lǐng)域。

人個(gè)觀點(diǎn)，僅供參考。

$晶方科技(SH603005)$

$福晶科技(SZ002222)$

$奧普光電(SZ002338)$

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